開発事例

半導体メーカー様と共に創り上げてきた開発事例の一部をご紹介いたします。

ウェハプロセス工程

• 着工装置指示システム
• 生産管理ツール
• 外観検査ウェハマップ編集ツール
• 装置オンラインシステム
• 装置稼働率監視ツール
• データキャリアシステム
• 搬送制御効率化システム

ウェハテスト工程

• ウェハテスト工程・装置管理システム
• ウェハテスト品質判定システム
• ウェハマップ編集システム
• ウェハマップ配送ツール
• 検査装置管理システム
• データキャリアシステム
• 装置オンラインシステム

アセンブリ工程

• ピックアップデータ管理システム

ファイナルテスト工程

• 装置制御システム